掃描電鏡（SEM），全稱掃描電子顯微鏡，是一種利用電子束掃描樣品表面從而獲得樣品信息的電子顯微鏡。它能產生樣品表面的高分辨率圖像，且圖像呈三維，掃描電子顯微鏡能被用來鑒定樣品的表面結構，廣泛地應用于化學、材料、冶金、醫學、生物、半導體制造檢查等各個研究領域和工業部門。